10.14489/td.2015.06.pp.030-034

2015, 06 июнь (June)

DOI: 10.14489/td.2015.06.pp.030-034

Кострин Д. К.
ИССЛЕДОВАНИЕ СПЕКТРАЛЬНОГО МЕТОДА КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
(с. 30-34)

Аннотация. Рассмотрены основы метода спектральной интерферометрии, позволяющего проводить контроль толщины полупроводни-ковых и диэлектрических пленок. Показана необходимость математической обработки спектральных данных для получения дос-товерных результатов. Проведено определение толщины нескольких образцов пленок карбида кремния на кремниевой подложке. Выявлены основные недостатки рассмотренного метода измерения и предложены способы их решения.

Ключевые слова: тонкие пленки, контроль толщины, спектральная интерферометрия, оптический спектрометр.

Kostrin D. K.
RESEARCH OF THE SPECTRAL CONTROL METHOD OF SEMICONDUCTOR AND DIELECTRIC FILMS THICKNESS
(pp. 30-34)

Abstract. It is dealt with the basics of the spectral interferometry method which allows to monitor a thickness of semiconductor and dielectric films. The halogen glow lamp with stabilized emissive power is used for measurements of spectral coefficient of reflection of films. Its radiation goes to the multiplexed light fiber named collector. It consists of two separate bundles which are weaved together at one end. The need is stressed to employ mathematical processing of the spectral data for receiving of truthful results. Data handling by polynomial filters are considered rather effective. Determination of thickness of several samples of films of silicon carbide on a silicon substrate is carried out. It is defined the main disadvantages of the considered method of measurement and ways for its solution. Attention is drawn to use of a source of radiation which consists of a set of light-emitting diodes covering all spectral range. Also, application of an advanced measurement technique with observation of ranges of reflection in case of different angles of the falling radiation is considered.

Keywords: thin films, monitoring of thickness, spectral interferometry, optic spectrometer.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

Д. К. Кострин (СПбГЭТУ «ЛЭТИ») E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

D. K. Kostrin (Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI” (ETU)) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Комлев А. Е., Ухов А. А., Комлев А. А. Комплекс требований к оборудованию для осаждения пленок оксидов методом реактивного магнетронного распыления // Вакуумная техника и технология. 2012. Т. 22. № 4. С. 245 – 248.
2. Барченко В. Т., Быстров Ю. А., Колгин Е. А. Ионно-плазменные технологии в электронном производ-стве. СПб.: Энергоатомиздат, 2001. 332 с.
3. Юдин Р. В., Кострин Д. К., Шишов Д. И., Ухов А. А. Повышение точности и воспроизводимости результатов колориметрических измерений светоизлучающих диодов // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2013. № 3. С. 8 – 13.
4. Ухов А. А., Герасимов В. А., Кострин Д. К. Методика и аппаратура для определения спектральных характеристик стекол и зеркал // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2013. № 8. С. 10 – 14.
5. Кострин Д. К., Ухов А. А. Интерференция в по-верхностном слое и метрологические параметры спек-трометров с ПЗС-фотоприемниками // Датчики и систе-мы. 2013. № 5. С. 13 – 15.

Eng

1. Komlev A. E., Ukhov A. A., Komlev A. A. (2012). The complex of equipment requirements for the deposition of oxides by reactive magnetron sputtering. Vakuumnaia tekhnika i tekhnologiia,22(4), pp. 245-248.
2. Barchenko V. T., Bystrov Iu. A., Kolgin E. A. (2001). Ion-plasma technologies in electronic production. St. Petersburg: Energoatomizdat.
3. Iudin R. V., Kostrin D. K., Shishov D. I., Ukhov A. A. (2013). Improving the accuracy and reproducibility of color-imetric measurements of light emitting diodes. Izvestiia SPbGETU «LETI», (3), pp. 8-13.
4. Ukhov A. A., Gerasimov V. A., Kostrin D. K. (2013). Method and apparatus for determining spectral char-acteristics of windows and mirrors. Izvestiia SPbGETU «LETI», (8), pp. 10-14.
5. Kostrin D. K., Ukhov A. A. (2013). Interference in the surface layer and metrological parameters of spectrome-ters with CCD photodetectors. Datchiki i sistemy, (5), pp. 13-15.

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

DOI: 10.14489/td.2015.06.pp.030-034

Скопируйте DOI статьи и перейдите по ссылке https://id-spektr.ru/product/pokupka-elektronnoy-stati-iz-zhurnala-kontrol-diagnostika

В комментарии к заказу обязательно укажите DOI статьи.

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

DOI: 10.14489/td.2015.06.pp.030-034

Copy the article DOI and follow the link https://id-spektr.ru/product/pokupka-elektronnoy-stati-iz-zhurnala-kontrol-diagnostika

Please specify the article DOI in the order comments.