| 2018, 02 February |
|
DOI: 10.14489/td.2018.01.pp.050-053 Спиридонов С. В., Русяев Н. Н., Шашков В. И. Аннотация. Рассмотрено влияние промежуточной среды между измерительным зондом и образцом на точность проводимых зондовых измерений. Актуальность данной проблемы обусловлена большой практической значимостью зондовых методик исследования. Анализ работ по рассматриваемой тематике позволил выявить основные факторы, влияющие на точность спектроскопических измерений. Одним из самых распространенных факторов является воздействие воздушной среды. Для оценки влияния этого фактора разработана методика количественной оценки погрешностей спектрометрических СТМ-измерений, вносимых средой, и проведена серия экспериментов, включающая спектроскопические измерения при различном времени выдержки образца на воздухе. На основе экспериментальных данных сделан вывод о степени воздействия воздушной среды на точность измерений. Произведена количественная оценка этого влияния, выявлена зависимость вносимых отклонений от времени выдержки образца. Сформированы рекомендации по осуществлению СТМ-измерений в условиях воздушной среды. Ключевые слова: электрические измерения, зондовая микроскопия, погрешность.
Spiridonov S. V., Rusjaev N. N., Shashkov V. I. Abstract. The influence of intermediate environment was studied between the measuring probe and the sample on the probe measurements accuracy. An appraisal of the research topic relevance has shown that the influence of the external environment on probe measurements is an actual practice problem and it is widely considered in the scientific works. The study of the scientific papers has allowed find out the main factors, which affect the accuracy of spectroscopic measurements. One of the most widespread factor is the impact of the air atmosphere. To appraise its influence, a methodology was developed for characterization spectrometric STM measurements inaccuracy contributed by the environment. The series of experiments were performed, including spectroscopic measurements with the different samples holding time on the air. The analysis of experimental data revealed the influence degree of the air environment to measurements accuracy. A quantitative estimate was made and the inaccuracy dependence was identified accordingly sample holding time. The recommendations by realization of STM measurements in the air was formulated. Keywords: electrical measurements, probe microscopy, inaccuracy.
РусС. В. Спиридонов, Н. Н. Русяев, В. И. Шашков (Казанский национальный исследовательский технический университет им. А. Н. Туполева-КАИ, г. Казань, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра. , Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра. , Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра. EngS. V. Spiridonov, N. N. Rusjaev, V. I. Shashkov (Kazan National Research Technical University named after A. N. Tupolev-KAI, Kazan, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра. , Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра. , Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.
Рус1. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии: учеб. пособие для студентов старших курсов. Н. Новгород: Ин-т физики микроструктур РАН, 2004. 114 с. Eng1. Mironov V. L. (2004). Fundamentals of scanning probe microscopy: textbook for senior students. Nizhnii Novgorod: Institut fiziki mikrostruktur RAN. [in Russian language]
РусСтатью можно приобрести в электронном виде (PDF формат). DOI: 10.14489/td.2018.01.pp.050-053 Скопируйте DOI статьи и перейдите по ссылке https://id-spektr.ru/product/pokupka-elektronnoy-stati-iz-zhurnala-kontrol-diagnostika В комментарии к заказу обязательно укажите DOI статьи. .
EngThis article is available in electronic format (PDF). DOI: 10.14489/td.2018.02.pp.004-015 Copy the article DOI and follow the link https://id-spektr.ru/product/pokupka-elektronnoy-stati-iz-zhurnala-kontrol-diagnostika Please specify the article DOI in the order comments.
|
Архив номеров
Разработка концепции и создание сайта - ООО «Издательский дом «СПЕКТР»