10.14489/td.2022.04.pp.048-054

2022, 04 апрель (April)

DOI: 10.14489/td.2022.04.pp.048-054

Матвеев В. И.
ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ МИКРОВОЛН
(с. 48-54)

Аннотация. Представлен обзор методов измерения геометрических параметров – толщины диэлектрических материалов и изделий с помощью радиоволн сверхвысоких частот. Рассмотрены основные методы толщинометрии: геометрический, амплитудно-фазовый, частотно-фазовый, эллипсометрический, приведены примеры и характеристики их практического применения, а также схемы реализованных микроволновых толщиномеров и преобразователей.

Ключевые слова: измерение толщины, микроволны, диэлектрики, схемы преобразователей, примеры применений.

Matveev V. I.
GEOMETRIC MEASUREMENTS USING MICROWAVES
(pp. 48-54)

Abstract. The article presents an overview of methods for measuring geometric parameters – the thickness of dielectric materials and products using ultrahigh frequency radio waves. The main methods of thickness measurement are considered: geometric, amplitude-phase, frequency-phase, ellipsometric, with examples and characteristics of their practical application. The schemes of implemented microwave thickness gauges and converters are given.

Keywords: thickness measurement, microwaves, dielectrics, converter circuits, examples of applications.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

В. И. Матвеев (ЗАО «НИИИН МНПО «Спектр», Москва, Россия) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

V. I. Matveev (JCS RII MSIA “Spectrum”, Moscow, Russia) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Потапов А. И., Сясько В. А. и др. Радиоволновые методы и средства неразрушающего контроля природной среды, материалов и изделий. Т. 6. Физические основы и применение радиоволнового контроля природной среды, материалов и изделий. СПб.: Политехника-принт, 2017. 610 с.
2. Викторов В. А., Лункин Б. В., Совлуков А. С. Радиоволновые измерения параметров технологических процессов. М.: Энергоатомиздат, 1989. 208 c.
3. Завьялов А. С., Дунаевский Г. Е. Измерение параметров материалов на сверхвысоких частотах. Томск: Изд-во Томского университета, 1985. 214 c.
4. Маликов В. Т., Дубовой В. М., Кветный Р. Н., Исматуллаев П. Р. Анализ измерительных информационных систем. Ташкент: Изд-во ФАН, 1984. 176 с.
5. Кукарин С. В. Электронные СВЧ приборы. 2-е изд., перераб и доп. М.: Связь, 1981. 271 с.
6. Абышев С. В. СВЧ устройства неразрушающего метода контроля // Universum: технические науки: электрон. научн. журн. 2019. № 4(61). URL: https://7universum.com/ru/tech/archive/item/7205
7. Мищенко С. В., Малков Н. А. Проектирование радиоволновых (СВЧ) приборов неразрушающего контроля: учеб. пособие. Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2003. 128 с.
8. Латышева Е. В. Резонансные СВЧ-методы многопараметровых измерений эпитаксиальных полупроводниковых структур с нанометровыми металлическими слоями: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук / Саратовский гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. Саратов, 2016. 22 с.
9. Пат. SU 1840000 A1, МПК G 01 N 22/02. СВ-толщиномер / В. И. Станкевич, Г. Л. Залесский, Д. В. Сорокин; опубл. 20. 07. 2006.
10. Конев В. А., Любецкий Н. В., Тиханович С. А. Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур. Минск: Наука и техника, 1989. 133 c.

Eng

1. Potapov A. I., Syas'ko V. A. et al. (2017). Radio wave methods and means of non-destructive testing of the natural environment, materials and products. Vol. 6. Physical foundations and application of radio wave control of the natural environment, materials and products. Saint Petersburg: Politekhnika-print. [in Russian language]
2. Viktorov V. A., Lunkin B. V., Sovlukov A. S. (1989). Radio wave measurements of parameters of technological processes. Moscow: Energoatomizdat. [in Russian language]
3. Zav'yalov A. S., Dunaevskiy G. E. (1985). Measurement of parameters of materials at microwave frequencies. Tomsk: Izdatel'stvo Tomskogo universiteta. [in Russian language]
4. Malikov V. T., Dubovoy V. M., Kvetniy R. N., Ismatullaev P. R. (1984). Analysis of measuring information systems. Tashkent: Izdatel'stvo FAN. [in Russian language]
5. Kukarin S. V. (1981). Electronic microwave devices. 2nd ed. Moscow: Svyaz'. [in Russian language]
6. Abyshev S. V. (2019). Microwave devices for non-destructive testing. Universum: tekhnicheskie nauki: elektronniy nauchniy zhurnal, 61(4). Available at: https://7universum.com/ru/tech/archive/item/7205 [in Russian language]
7. Mishchenko S. V., Malkov N. A. (2003). Design of radio wave (microwave) non-destructive testing devices: textbook. Tambov: Izdatel'stvo Tambovskogo gosudarstvennogo tekhnicheskogo universiteta. [in Russian language]
8. Latysheva E. V. (2016). Resonant microwave methods for multiparameter measurements of epitaxial semiconductor structures with nanometer metal layers. Saratov: Saratovskiy gosudarstvenniy universitet im. N. G. Chernyshevskogo. [in Russian language]
9. Stankevich V. I., Zalesskiy G. L., Sorokin D. V. CB thickness gauge. Patent No. SU 1840000 A1. [in Russian language]
10. Konev V. A., Lyubetskiy N. V., Tihanovich S. A. (1989). Radio wave ellipsometry of dielectric structures. Minsk: Nauka i tekhnika. [in Russian language]

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 500 руб. (в том числе НДС 20%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа скопируйте doi статьи:

10.14489/td.2022.04.pp.048-054

и заполните форму

Отправляя форму вы даете согласие на обработку персональных данных.

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 500 rubles. (including VAT 20%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please copy the article doi:

10.14489/td.2022.04.pp.048-054

and fill out the form