10.14489/td.2015.05.pp.047-050

2015, 05 май (May)

DOI: 10.14489/td.2015.05.pp.047-050

Кострин Д. К.
ОПТИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ СОСТАВА ГАЗОВОЙ СМЕСИ В ПРОЦЕССЕ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
(c. 47-50)

Аннотация. Проанализированы особенности процесса получения тонких пленок с помощью реактивного магнетронного распыления. По-казано, что одной из важнейших технологических задач для данного процесса является контроль состава газовой смеси. Рас-смотрено спектральное оборудование, позволяющее проводить диагностирование процесса по спектрам излучения плазмы. Про-демонстрированы возможности определения состава газовой смеси на примере смеси аргон–кислород при напылении пленок пя-тиокиси тантала.

Ключевые слова: реактивное магнетронное распыление, тонкие пленки, оптический спектрометр, плазма, газовая смесь.

Kostrin D.K.
OPTICAL CONTROL OF THE GAS MIX COMPOSITION IN THE PROCESS OF REACTIVE SPUTTERING
(pp. 47-50)

Abstract. It is analysed the features of the process of thin films deposition by means of reactive sputtering. Reactive magnetron sputtering peculi-arity is the additionof reactive gas into the working camera for directional change of composition of the received coating. Therefore, control of a gas mix composition is a major technological task. It is considered the spectral equipment allowing diagnostics of spectrums of plasma radiation. Arather simple, compact spectrometer witha charge-coupled devicephotosensor element is usedin this work. It is shown possibilities of determinationof gas mix composition on the samplesof argon–oxygen mix while depositing films of tantalum pentoxide. Plasma spectrums in a course of deposition of this coating contain spectral lines of oxygen, argon and othersubstances which complicate its analysis. Therefore, transition to reviewing the most intensive spectral lines in particular spectral line of oxygen with wavelength 777,5 nm that is rather remote from lines of argon is very efficient. Results of experiments show that it is possible to control concentration of oxygen not only on change of intensity of lines of oxygen, but also on the relative change of intensity of lines of argon.

Keywords: reactive sputtering, thin films, optical spectrometer, plasma, gas mix.

+ - Информация об авторах (About the Authors) Click to collapse

Рус

Д. К. Кострин (Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

Eng

D. K. Kostrin (Saint Petersburg Electrotechnical University “LETI”, Saint Petersburg) E-mail: Данный адрес e-mail защищен от спам-ботов, Вам необходимо включить Javascript для его просмотра.

+ - Библиографический список (References) Click to collapse

Рус

1. Удовиченко С. Ю. Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники. Ч. 1. Тюмень: Изд-во Тюменск. гос. ун-та, 2014. 85 с.
2. Электрохромные покрытия с Ta2O5 электроли-том, наносимые методом магнетронного распыления / А. А. Соловьев, Н. С. Сочугов, А. Н. Захаров и др. // Известия вузов. Физика. 2011. Т. 54. № 11/2. С. 162 – 168.
3. Барченко В. Т., Быстров Ю. А., Колгин Е. А. Ионно-плазменные технологии в электронном производстве. СПб.: Энергоатомиздат, 2001. 332 с.
4. Кострин Д. К., Ухов А. А. Аппаратно-програм-мный спектрометрический комплекс для исследования параметров светоизлучающих диодов // Биотехносфера. 2013. № 3. С. 21 – 25.
5. Ухов А. А., Кострин Д. К. Оптимизация системы регистрации многоканального оптического спектро-метра // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2013. № 4. С. 8 – 12.
6. Кострин Д. К., Ухов А. А. Интерференция в по-верхностном слое и метрологические параметры спектрометров с ПЗС-фотоприемниками // Датчики и системы. 2013. № 5. С. 13 – 15.
7. Кострин Д. К. Исследование возможности экс-пресс-контроля состава воды оптическим спектрометром при использовании разряда в жидкости // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2013. № 7. С. 15 – 19.
8. Быстров Ю. А., Кострин Д. К., Лисенков А. А. Спектрометрический анализ состава плазменного потока вакуумно-дугового разряда // Вакуумная техника и технология. 2014. Т. 23. № 1. С. 164 – 166.
9. Василевский А. М., Коноплев Г. А., Светлов Д. А. и др. Оптико-электронная информационно-из-мерительная система контроля дезинфицирующих средств на основе полигексаметиленгуанидина // Медицинская техника. 2014. № 1. С. 10 – 13.
10. Воронин А. А., Герасимов В. А., Кострин Д. К. и др. Модернизация приборов и методики спектральной идентификации пород древесины // Биотехносфера. 2013. № 3. С. 16 – 20.
11. Кострин Д. К., Ухов А. А. Метод подбора близ-ких по цветовым характеристикам белых светодиодов для систем освещения // Контроль. Диагностика. 2013. № 7. С. 47 – 50.
12. Кострин Д. К., Ухов А. А. Метод контроля про-странственного распределения световых и цветовых характеристик излучения светодиодов // Контроль. Диагностика. 2014. № 2. С. 65 – 68.

Eng

1. Udovichenko S. Iu. (2014). Beam-plasma technology to create materials and devices micro and nano electronics. Part 1. Tiumen': Izdatel'stvo Tiumenskskogo gosudarstvennogo universiteta.
2. Solov'ev A. A., Sochugov N. S., Zakharov A. N. et al. (2011). Electrochromic coatings of TA2O5 electrolyte applied by magnetron sputtering. Izvestiia vuzov. Fizika, 54(11/2), pp. 162-168.
3. Barchenko V. T., Bystrov Iu. A., Kolgin E. A. (2001). Ion-plasma technologies in electronic production. St. Petersburg: Energoatomizdat.
4. Kostrin D. K., Ukhov A. A. (2013). Hardware and software spectrometric complex for studying parameters of light-emitting diodes. Biotekhnosfera, (3), pp. 21-25.
5. Ukhov A. A., Kostrin D. K. (2013). Optimization of the system of registration of multichannel optical spectrometer. Izvestiia SPbGETU «LETI», (4), pp. 8-12.
6. Kostrin D. K., Ukhov A. A. (2013). Interference in the surface layer and metrological parameters of spectrometers with CCD photodetectors. Datchiki i sistemy, (5), pp. 13-15.
7. Kostrin D. K. (2013). Study of the possibility of ex-press-control of water composition with optical spectrometer using a discharge in fluid. Izvestiia SPbGETU «LETI», (7), pp. 15-19.
8. Bystrov Iu. A., Kostrin D. K., Lisenkov A. A. (2014). Spectrometric analysis of the composition of the plasma stream of a vacuum-arc discharge. Vakuumnaia tekhnika i tekhnologiia, 23(1), pp. 164-166.
9. Vasilevskii A. M., Konoplev G. A., Svetlov D. A. et al. (2014). Optoelectronic information-measuring system of control of disinfectants on the basis of polyhexamethylen-guanidine. Meditsinskaia tekhnika, (1), pp. 10-13.
10. Voronin A. A., Gerasimov V. A., Kostrin D. K. et al. (2013). Modernization of equipment and methods of spectral identification of wood species. Biotekhnosfera, (3), pp. 16-20.
11. Kostrin D. K., Ukhov A. A. (2013). Method for selec-tion of white light-emitting diodes with similar color characteristics for lighting systems. Kontrol'. Diagnostika, (7), pp. 47-50.
12. Kostrin D. K., Ukhov A. A. (2014). Method for control of space distribution of luminous and color characteristics of light-emitting diodes. Kontrol'. Diagnostika, (2), pp. 65-68. doi: 10.14489/td.2014.02.pp.065-067.

+ - Заказать электронную версию статьи (Purchase digital version of a single article) Click to collapse

Рус

Статью можно приобрести в электронном виде (PDF формат).

Стоимость статьи 350 руб. (в том числе НДС 18%). После оформления заказа, в течение нескольких дней, на указанный вами e-mail придут счет и квитанция для оплаты в банке.

После поступления денег на счет издательства, вам будет выслан электронный вариант статьи.

Для заказа статьи заполните форму:

Форма заказа статьи

Eng

This article is available in electronic format (PDF).

The cost of a single article is 350 rubles. (including VAT 18%). After you place an order within a few days, you will receive following documents to your specified e-mail: account on payment and receipt to pay in the bank.

After depositing your payment on our bank account we send you file of the article by e-mail.

To order articles please fill out the form below: